| 1997年 | 10月 | 株式会社ブイ・テクノロジーとして神奈川県厚木市に設立（資本金30,000千円） |
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| 1998年 | 1月 | PDP用検査装置Neptuneシリーズを販売開始 |
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| 8月 | 精密座標測定装置Saturnシリーズを販売開始 |
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| 11月 | 精密座標測定装置Venusシリーズを販売開始 | ||
| 1999年 | 1月 | 超精密座標測定装置Mercuryシリーズを販売開始 |
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| 6月 | アドバンストディスプレイオブザイヤー検査装置部門グランプリを受賞（Super Neptune 9000） | ||
| 9月 | 修正装置Jupiterシリーズを販売開始 |
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| 12月 | 観察装置RVシリーズを販売開始 | ||
| 2000年 | 3月 | ミクロ観察装置Satelliteシリーズを販売開始 |
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| 4月 | 当社製品の販売・サービスサポートを目的として韓国にV Technology Korea Co., Ltd. 設立 | ||
| 12月 | 東京証券取引所マザーズ上場（銘柄コード：7717） | ||
| 2001年 | 11月 | 当社製品の販売・サービスサポートを目的として台湾にV-TEC Co., Ltd. を設立 | |
| 2002年 | 3月 | LCD用欠陥検査装置Capricornシリーズを販売開始 |
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| 2003年 | 12月 | 台湾子会社（V-TEC Co., Ltd）、台南にオフィスを開設 | |
| 2004年 | 10月 | 本社・ショールームを横浜市保土ヶ谷区に移転 台湾子会社（V-TEC Co., Ltd）、台中にオフィスを開設 |
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| 2005年 | 6月 | LCD基板製造にかかわる装置の開発・製造・販売を行う子会社、 株式会社ブイ・イメージング・テクノロジーを設立 LCD用露光装置AEGISシリーズを販売開始 |
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| 2007年 | 11月 | 当社製品の販売・サービスサポートを目的として中国・上海に駐在員事務所を開設 | |
| 2008年 | 10月 | 大阪府堺市に、堺事務所を開設 | |
| 2009年 | 11月 | シャープ株式会社殿よりLCD-Award Best in Class 設備部門賞受賞 | |
| 2010年 | 1月 | 業務効率化のため、株式会社ブイ・イメージング・テクノロジーを吸収合併 | |
| 4月 | 監査法人トーマツ殿よりTechnology Fast500 Asia Pacific 2010 受賞 | ||
| 2011年 | 2月 | 東京証券取引所マザーズより1部へ上場指定変更 高精細LCD用露光装置AEGIS-HRシリーズを販売開始 |
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| 7月 | 中国国内での販売・サービスサポート体制を更に強化する為、駐在員事務所を改め、正式に子会社として現地法人化 |
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