グループ会社のジャパンクリエイト社、およびリソテックジャパン社ががこの度、セミコンジャパン2023に出展いたしますので、ご案内いたします。
ウェット・真空技術で様々な製品をお客様にお届けしてまいりましたジャパンクリエイト、半導体フォトレジストの解析の分野で長きにわたり業界の皆様に数多くの製品とサービスをお届けしてきたリソテックジャパンが出展します。ぜひ、ご来場ください。
ジャパンクリエイト(東ホール6/ブース番号6608)
主力製品であるウェーハ洗浄装置を中心に、スピンコーター、プラズマCVD、ドライエッチング、スパッタリング、アッシングなど、当社ならではのウェット／ドライの両プロセス装置をご紹介します。また、研究開発用に適した卓上型のレジスト塗布・現像・エッチング・剥離・洗浄装置及び、各種ドライ処理装置なども併せてご紹介します。
また、シリコンウェーハのほかに、ガリウムヒ素（GaAs）・インジウムリン（InＰ）等の化合物半導体ウェーハから、サファイヤウェーハ、水晶・セラミック基板、またパワー半導体に使われる炭化ケイ素（SiC）・窒化ガリウム（GaN）ウェーハ向けの独自のウェット/ドライプロセスのトータルソリューションを提案いたします。
その他、実装向け600㎜角基板対応のコーター・現像・エッチング・剥離・洗浄装置や、カスタム装置につきましても設計・製作を承ります。
当日展示会場でのお打合せも可能ですので、ブースへ是非お越し頂き、お気軽にお声掛け下さい。皆様の御来場を心よりお待ちしております。
リソテックジャパン(東ホール4 4146:ミニマルファブ推進機構ブース内)
リソテックジャパンは、半導体リソグラフィに関する評価機器やプロセス装置のメーカーです。
今回の出展では、ミニマルファブ推進機構ブース内にて、minimalコータ、minimalデベロッパを展示しています。
