| FPD検査装置 Capricornシリーズ | FPD修正装置 Jupiterシリーズ | |||
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FPD※製造における各工程で発生する様々な欠陥を検出し、量産ラインの品質管理に貢献する装置です。 |  |
FPD製造工程で基板上に発生する各種欠陥の修正をする装置です。 | |
| FPDトータルピッチ測定装置 Mercuryシリーズ | FPDマクロレビュー装置 AsteroidIIシリーズ | |||
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FPDに形成されるパターンのトータルピッチ（任意の2点間の距離）を測定し、基板ごとにパターン精度・バラツキを管理する装置です。 |  |
FPD製造プロセスにおける目視検査スピードを向上させ、見逃しのない欠陥目視検査を実現する装置です。 | |
| 微小寸法測定装置 Venusシリーズ | |||
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FPDに形成される各種薄膜パターン、特に線幅や開口サイズ、レイヤー間寸法のような非常に微細な寸法を高速、高精度に測定する装置です。 | ||
※FPD…フラットパネルディスプレイ（薄型ディスプレイ）
