FPD関連 検査・修正・測定装置

FPD検査装置 Capricornシリーズ   FPD CF修正装置 Jupiterシリーズ
     
FPD検査装置 Capricornシリーズ FPD製造における各工程で発生した様々な欠陥を検出し、量産ラインの品質管理に貢献する装置です。   FPD CF修正装置 Jupiterシリーズ FPD CF(Color Filterの略)上に発生した各種欠陥の修正をする装置です。
     
FPD TFT修正装置 Taurusシリーズ   FPDトータルピッチ測定装置 Mercuryシリーズ
     
FPD TFT修正装置 Taurusシリーズ FPD TFT(Thin Film Transistorの略)基板上に発生した各種欠陥の修正をする装置です。   FPDトータルピッチ測定装置 Mercuryシリーズ FPDに形成されたパターンのトータルピッチ(任意の2点間の距離)を測定し、基板ごとにパターン精度・バラツキを管理する装置です。
     
FPDマクロレビュー装置 AsteroidIIシリーズ   FPD微小寸法測定装置 Venusシリーズ
     
マクロレビュー装置 AsteroidIIシリーズ FPD製造プロセスにおける目視検査スピードを向上させ、見逃しのない欠陥目視検査を実現する装置です。   微小寸法測定装置 Venusシリーズ FPDに形成される各種薄膜パターン、特に線幅や開口サイズ、レイヤー間寸法のような非常に微細な寸法を高速、高精度に測定する装置です。
     
FPD フォトマスク修正装置    
     
FPD フォトマスク修正装置 FPD フォトマスクに発生した各種欠陥の修正をする装置です。    
     

※FPD…フラットパネルディスプレイ(薄型ディスプレイ)