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FPD TFT修正装置 Taurusシリーズ

Taurusシリーズ
【概 要】

ディスプレイの高精細化が進展*1する中、より一層の生産性向上が求められています*2。Taurusは、LCD製造工程のTFT工程で基板上に発生する各種欠陥の修正をする装置で、欠陥修正能力、信頼性、操作性等の点で、お客様から高い評価を得ており累計600台を超す納入実績を誇ります(2013年10月時点、オムロンレーザーフロント株式会社での実績を含む)。

【特 長】
  • 各種欠陥の修正に対応
  • ガスウィンドウ方式レーザーCVDを用いた成膜機能によるオープン欠陥(配線パターンが途中で切れている個所)の修正が可能です。また、ショート欠陥(配線パターンが間違って繋がっている個所)修正に最適化された波長のレーザーを搭載しており、様々な形状のショート欠陥の修正が可能です。

  • 正常パターンイメージ

    正常パターンイメージ

    ショート欠陥イメージ

    ショート欠陥イメージ

    オープン欠陥イメージ

    オープン欠陥イメージ

     

    図:正常パターン、ショート欠陥、オープン欠陥


  • 優れた操作性
  • 実際に作業を担当されるお客様からの声を生かしたソフトウェア設計により、優れた操作性を実現しております。

  • 高い信頼性
  • ガラス面と密着性が高く剥れ等が発生しにくい成膜が可能で信頼性の高いオープン欠陥の修正を実現しております。またTFT材料に最適化されたレーザーにより加工面の美しいショート部の除去が可能です。

  • リアルタイムモニタリング
  • 工場の品質管理システムや歩留り管理システムですぐに使える欠陥分析データをインラインで提供できます。品質管理担当者はすぐに、工場内の品質情報を確認でき、製造プロセスの問題についてすぐに詳細を把握することが可能です。

  • 柔軟な機能拡張性
  • 本装置は、AOIやオープン/ショート検査ユニットを組み込むことが可能で、欠陥位置の高速サーチやリペア後の回路チェックを修正装置内で行うことができます。
【アプリケーション】
  • LCD関連
  • TFT基板:アレイパターンオープン欠陥、ショート欠陥の修正
  • 有機EL関連
  • バックプレーン:アレイパターンオープン欠陥、ショート欠陥の修正
*1 高精細化の進展

画質の向上に高精細は不可欠です。
その為、ここ数年、高精細化が進み、ディスプレイの高精細化が今後も進展すると考えられています。

スマートフォンおよびテレビ用ディスプレイにおける解像度の推移

 

図:スマートフォンおよびテレビ用ディスプレイにおける解像度の推移

 

(その年の代表的な機種の仕様を参考にしております。)

(HD:1440×1080、FHD:1920×1080、4K2K:3840×2160、8K4K:7680×4320)

(2013年10月時点)

*2 高精細化が
生産性に与える影響
(4K2Kディスプレイの場合)

高精細化により画素配線も微細化が要求されます。微細化に伴い、より欠陥が発生しやすくなります。
微細化による生産性低下を防ぐ為、高度な欠陥修正技術が必要とされています。

異物が、FHDの画素(左)と4K2Kの画素(右)に与える影響の違い(イメージ)

 

図:異物が、FHDの画素(左)と4K2Kの画素(右)に与える影響の違い(イメージ)。

 

ディスプレイには画素を制御するTFTが形成されています。製造工程で発生するTFT周辺の異物は、画素欠陥の原因となります。FHDの画素と4K2K画素サイズを比較すると、4K2Kの方が画素密度が4倍ある為、TFTと異物が干渉し易く、4K2Kディスプレイ生産の課題となっています。