液晶光配向膜露光装置 AEGIS-PIシリーズ

*1：ブイ・テクノロジーは、検査関連装置の開発時に培った光学技術、精密制御技術、画像処理技術を応用し、かつてない露光装置をAEGIS（イージス）シリーズとして展開しております。AEGIS-PIのPIはポリ・イミドの略です。

*2：露光装置とは、半導体や液晶パネルなどの電気回路等のパターンを、基板上に焼き付ける際に用いられます。液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイといったフラットパネルディスプレイを生産する上で欠かせない製造装置です。

• 高い位置合わせ精度
• CCDカメラで実際のパターンを見ながらリアルタイムに露光を補正し、露光位置精度±1.5μm ^※を実現しております （※2011年9月末時点）。
• ゴミ・異物に強く、共通欠陥が発生しない
• 欠陥が発生しにくい独自のスキャン露光を採用しているため、共通欠陥等の発生を未然に防ぐことができます。
• 小型フォトマスクによるコスト削減
• フォトマスクは大型になるほど生産にコストがかかるため、割高になる傾向があります。AEGISは露光光源を小型化することにより小型フォトマスクの適用を可能としており、マスクコストを大幅に削減することができます。
• 高い生産性

• エアフロー搬送と呼ばれる、ガラス基板をエアで浮上させながら非接触で連続搬送する技術を採用することで、スムーズかつ均一な速度での高精度な連続露光を実現しました。非連続露光に比べて高い生産性を実現しております。