液晶用露光装置 AEGIS-TFT/CFシリーズ

AEGIS-TFT/CFシリーズ
【概 要】

現在、普及が進む液晶ディスプレイ(LCD)のほとんどが薄膜トランジスタ(TFT)方式を採用しています。例えばハイビジョン対応のワイド形42インチTFT液晶テレビの場合、色鮮やかで滑らかな映像実現の為、1台のテレビに600万個を超える微細なトランジスタを欠陥なくガラス基板上に作り上げることが必要で、LCD製造装置は常に高い信頼性と性能が要求されています。当社のAEGIS-TFT/CF *1はこの要求に応えるLCD露光装置です。

*1:TFT=薄膜トランジスタ/CF=カラーフィルター。露光装置とは、半導体や液晶パネルなどの電気回路のパターンを、基板上に焼き付ける際に用いられます。液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイといったフラットパネルディスプレイを生産する上で欠かせない製造装置です。

【特 長】
  • 高い位置合わせ精度
  • CCDカメラで実際のパターンを見ながらリアルタイムに露光を補正し、露光位置精度±1.5μm を実現しております(※2011年9月末時点)。

  • ゴミ・異物に強く、共通欠陥が発生しない
  • 欠陥が発生しにくい独自のスキャン露光を採用しているため、共通欠陥等の発生を未然に防ぐことができます。

  • 小型フォトマスクによるコスト削減
  • フォトマスクは大型になるほど生産にコストがかかるため、割高になる傾向があります。AEGIS-TFT/CFは小型フォトマスクでの露光が可能となり、消耗品であるマスクコストを大幅に削減することができます。

  • 高い生産性
  • エアフロー搬送と呼ばれる、ガラス基板をエアで浮上させながら非接触で連続搬送する技術を採用することで、スムーズかつ均一な速度での高精度な連続露光を実現しました。非連続で露光する方法に比べて高い生産性を実現しております。