高精細液晶用露光装置 AEGIS-HRシリーズ

AEGIS-HRシリーズ
 
【概 要】

スマートフォンの進化 *1に伴い、そのディスプレイには従来以上に高い性能(高精細、低消費電力等)が要求されています。AEGIS(イージス)-HR *2シリーズは露光ユニットに従来機とは異なった、独自開発のマイクロレンズアレイ(MLA)*3光学系を採用し、スマートフォンやタブレットPC等に採用される超高精細ディスプレイ製造に対応する露光装置です。

*1:下記『ディスプレイの進化 〜解像度と画質の向上〜』を参照。

*2:HRはHigh Resolution(高解像)の略です。

*3:MLA(マイクロレンズアレイ)とはマイクロレンズを格子状に並べたものです。

*4:下記『高精細化がディスプレイデザインに与えるインパクト』を参照。

MLAイメージ

MLAイメージ

【特 長】
  • 高解像度*4
  • 露光解像度2μmを実現しております。これにより300ピクセルパーインチ(ppi)相当以上の高精細ディスプレイの生産に対応可能です。(2011年9月末時点)

  • 高い位置合わせ精度
  • 露光レンズの傾きによる位置のずれが生じにくい設計を施しており、従来機と比較して相対的に高い位置合わせ精度を実現しております。

  • 高い生産性
  • G6(1550×1850mm)ガラス基板にも対応し、高い生産性を実現しております。(2011年9月末時点)

【用 途】 TFT露光工程/CF露光工程

ディスプレイの進化 〜高精細化による画質の向上〜

ディスプレイの高画質化がスマートフォンなどの携帯端末の進化を支えています。

解像度と画質

*1:ppi …pixel per inch 1インチ(25.4mm)あたりのピクセル数。

※図はイメージです。

高精細化がディスプレイデザインに与えるインパクト

ディスプレイの高精細化と低消費電力の両立には、パターンの微細化が不可欠であり微細加工に対応する露光装置が必要となります。

ディスプレイ解像度と開口率

*1:開口率…(サブ)ピクセルの中で光を通す部分の割合。黒枠(BM)の線幅が変わらずに高精細化すると開口率が悪化し、同じ明るさを保つためにはバックライトを明るくしなければならず、消費電力が増えます。その結果、スマートフォンやノートPCのバッテリー駆動時間が短かくなってしまいます。

(ブイ・テクノロジー調べ)

※図はイメージです。