FPD検査装置 Capricornシリーズ

Capricornシリーズ
【概 要】 CapricornはFPD、なかでもLCD製造プロセスにおいて数多くの実績がある欠陥検査装置です。本装置はLCD製造における各工程で発生する様々な欠陥を検出し、量産ラインの品質管理に貢献します。
【特 長】
  • 高い欠陥検出力
  • 問題となる欠陥だけを検出する為、LCDの各種プロセスに最適化された検査カメラ、画像処理システム、機械機構を採用、精度の高い欠陥検査を実現する事ができます。これにより、検査作業を困難にする疑似欠陥の検出を回避し、短時間で検査を行うことができます。
  • 高い操作性/信頼性
  • 操作性とメンテナンス性に配慮した設計を施しており、安全でユーザーフレンドリーな操作と安定稼働を実現しております。
  • 品質管理に即座に利用できる検査データ
  • 本装置は、工場の品質管理システムや歩留まり管理システムで即座に使える検査データをインラインでの提供を可能とします。品質管理担当者は、工場内の品質情報を確認し、製造プロセスの問題についてタイムリーに詳細を把握することが可能です。
【アプリケーション】
  • 液晶ディスプレイ(LCD)関連
  • TFT基板:アレイパターン検査、現像後レジストパターン検査、エッチング後パターン検査、等
  • CF基板:カラーフィルターパターン検査、各種BM・R・G・B・PS・ITO工程のパターン検査、CF完成品検査、等
  • 貼り合せ(CELL工程):シール検査、配向膜検査、スペーサー検査、等
  • フォトマスク:フォトマスクパターン検査
  • 有機ELディスプレイ関連
  • TFT基板:高精細TFT基板検査
  • メタルマスク:メタルマスクパターン検査
  • プラズマディスプレイ(PDP)関連
  • 前面板:ITOパターン検査、電極検査、PDP検査、等
  • 背面板:リブパターン検査、電極検査、PDP検査、等