FPD CF修正装置 Jupiterシリーズ

Jupiterシリーズ
【概 要】

Jupiterは、CF( Color Filterの略)工程で基板上に発生した各種欠陥を修正する装置です。CF修正装置市場における圧倒的なシェアと1,100台を超える出荷実績を誇ります(2013年10月末時点)。

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【特 長】
  • 各種測定/修正に対応
  • 各種欠陥を修正する為の、研磨修正機能、インク塗布機能、レーザー修正機能を標準装備しています。また、欠陥分析用顕微鏡を実装しており、鮮明な画像で容易に欠陥のサイズ測定やパターンの線幅測定といった各種解析が可能です。
  • 良好な操作性
  • 作業を担当されるお客様からの声を生かしたソフトウェア設計により、良好な操作性を実現しております。
  • 品質管理に即座に利用できる検査データ
  • 本装置は、工場の品質管理システムや歩留まり管理システムで即座に使える欠陥分析データをインラインで提供します。これにより品質管理担当者は、工場内の品質情報をリアルタイムで確認し、製造プロセスの問題を詳しく把握することができます。
【アプリケーション】
  • LCD関連
  • CF基板:カラーフィルター欠陥修正(レーザー/インク塗布/テープ研磨)