FPDトータルピッチ測定装置 Mercuryシリーズ

Mercuryシリーズ
【概 要】 Mercuryシリーズはガラス基板等の上に形成される各種薄膜パターンのトータルピッチ(任意の2点間の距離)を測定します。LCDに代表される、FPD製造プロセスでは一つの基板が完成するまでに、何層もパターンが重ねあわされて形成されています。これらのパターンはサブミクロンサイズで設計されており、スマートフォン用の高精細FPDに関しては特に高いパターン形成精度が要求されています。本装置は基板上に形成されるパターンのトータルピッチ測定を通じて製造プロセスを管理し、工場全体の歩留まりおよびLCDの品質向上に貢献します。
【特 長】
  • 高精度
  • トータルピッチ測定に最適な高精度を実現し、300ピクセルパーインチ(ppi)相当以上のディスプレイ生産に対応します。
  • 高速測定
  • 基板の大型化に伴う測定点増加に対応する為、高速オートフォーカスなど各種アイテムが装備可能です。
  • 品質管理に即座に利用できる検査データ
  • 測定データは各種上流装置や品質管理担当者が利用できる書式で各種工程にアウトプット可能です。
  • 微細パターン測定
  • トータルピッチ測定と同時に、微細パターンの寸法測定が可能です。
【アプリケーション】
  • LCD関連
  • TFT基板、CF基板のパターン位置(トータルピッチ)測定
  • フォトマスク:フォトマスクのトータルピッチ測定
  • 有機ELディスプレイ関連
  • メタルマスク:メタルマスクのトータルピッチ測定
  • 有機EL:EL基板のパターン位置(トータルピッチ)測定
  • その他
  • 各種フォトマスク測定/MEMS測定/など