FPDマクロレビュー装置 AsteroidIIシリーズ

【概要】	FPD製造プロセスにおいて、機械化が困難で、人の目を借りないと発見できない欠陥が存在します。AsteroidIIは、目視検査スピードを向上させ、見逃しのない欠陥検査を実現する為に開発されました。
【特長】	検査時間を短縮する各種観察用光源目視検査を容易にする、ユニークな照明光学系を各種実装しており観察時間の短縮が可能です。品質管理に即座に利用できる検査データオペレーターが感じる欠陥情報をタッチモニタ等を介して容易にデータ化する為のソフトウェアも充実しております。これらの検査情報は工場の品質管理担当者が即座に利用できる情報形式で工場のデータサーバーへ出力可能です。顕微鏡観察機能欠陥部を顕微鏡を用いて観察する事が可能です。
【アプリケーション】	LCD関連ガラス基板：ガラス基板検査 TFT基板：TFTムラ検査、現像後目視検査、エッチング後目視検査、等 CF基板：カラーフィルター目視検査貼り合せ（CELL工程）：配向膜目視検査