FPD微小寸法測定装置 Venusシリーズ

Venusシリーズ
【概 要】 Venusシリーズはガラス基板等の上に形成される各種薄膜パターン、特に線幅や開口サイズ、レイヤー間寸法のような非常に微細な寸法を高速、高精度に測定する装置です。
LCDに代表される、FPD製造プロセスでは一つの基板が完成するまでに、何層もパターンが重ねあわされて形成されていきます。これらのパターン幅はサブミクロンサイズで設計されており、パターン製造精度は標準的に0.1μmを下回ります。本装置は基板上に形成されるパターンの線幅測定を通じて、製造プロセスを管理し、工場全体の歩留まり改善と品質向上に貢献する為に開発されました。
【特 長】
  • 高速測定
  • 基板の大型化に伴う測定点の多点化に対応する為、高速オートフォーカスを標準装備しております。
  • 多種・多様な光学系
  • 各種パターンを構成する材料に応じた測定用光源や顕微鏡をご用意できます。
  • 品質管理に即座に利用できる検査データ
  • 測定データは各種上流装置で利用できる形で各種工程にアウトプット可能です。
【アプリケーション】
  • LCD関連
  • TFT基板、CF基板のパターン寸法測定
  • フォトマスク:フォトマスクのパターン測定
  • 有機ELディスプレイ関連
  • メタルマスク:メタルマスクのパターン測定
  • その他
  • 測定データは各種上流装置で利用できる形で各種工程にアウトプット可能です。