太陽電池用レーザースクライバー Gemmaシリーズ

Gemmaシリーズ
【概 要】

本装置は薄膜太陽電池用のスクライビング装置です。ハイパワー短パルスレーザー「Rigel」によるマルチ・ライン・レーザーを採用し、高タクト、低ランニングコストを実現いたします。またL/Sの狭ピッチ化にも対応可能です。

Gemmaシリーズ 仕様

項 目 内 容
用 途 薄膜太陽電池、TCO層、SI層、メタル層のスクライビング
対応基板サイズ 730×920 〜 2200×2600mm
タクトタイム 1100×1300mm 2200×2600mm

1ヘッド 45秒/枚

( 20μm線幅、110Line加工時、基板搬送含む)

2ヘッド 30秒/枚

( 20μm線幅、110Line加工時、基板搬送含む)

1ヘッド 110秒/枚

( 20μm線幅、220Line加工時、基板搬送含む)

2ヘッド 60秒/枚

( 20μm線幅、220Line加工時、基板搬送含む)

レーザー分岐数 6Lines / 12Lines
レーザー加工形状 幅20μm×長さ60mm
波長(平均出力) 532mm(25W)  1064nm(60W)
※工場出荷時に選択
  • ※仕様は改良のため、予告なく変更する場合があります。