レーザー加工器 Callistoシリーズ

Callistoシリーズ
【概 要】 半導体・FPD市場ニーズに対応するため、レーザー加工器Callistoをラインナップいたしました。波長変更が容易で、加工目的に応じた選択が可能です。また、選択した波長は、独自の光学設計により効率的に純度の高いレーザーを出力し高精度なレーザー加工を実現しています。
レーザー発振器は、シングルショットから60Hzまでの広い繰り返し範囲で、1パルスあたり100mJ以上のエネルギーを出力します。高出力であるため、従来の4倍以上の加工面積を実現でき、標準装備のXY-θスリットにより高精度なレーザー加工制御を行えます。更に、オプションの菱形スリットにより自在なレーザー加工も行えます。安全にも十分な配慮を行い、各所にインターロック機構が備わり、JIS6802に準拠しています。また、鉛フリー化を行い環境面にも配慮しました。
【特 長】
  • ・高繰返しレーザー発振 30Hz/60Hz
  • ・多波長発振 1064nm/532nm/355nm/266nm
  • ・高出力/大面積レーザー加工
  • ・高品位レーザー加工
  • ・操作性のしやすい、カラーLCDタッチパネルを採用
  • ・ガイド光に視認性の高い、白色LEDを採用
  • ・再現性の高い、高精度出力可変ユニット
  • ・軽量・高剛性筐体、密閉構造により外乱要因を低減
  • ・消耗品等の交換がしやすいメンテナンス構造
  • ・RS232CもしくはLANによる外部I/F装備

Callistoシリーズ 仕様

品 名 Callisto
型 式 VL-C30 VL-C60
レーザー
発振器
発振周波数 1〜30Hz、シングルショット 1〜60Hz、シングルショット
波長出力
( 3mm角 )
R 1064nm 12mJ
G 532nm 8mJ
B 355nm 2mJ
V 266nm 1mJ
RG 1064/532nm 5/4mJ
GB 532/355nm 3/2mJ
GV 532/266nm  3/1mJ
RGB 1064/532/355nm 4/3/2mJ
RGV 1064/532/266nm 4/3/1mJ
RBV 1064/355/266nm 2/1/0.5mJ
RGBV 1064/532/355/266nm 2/1.5/1/0.5mJ
発振方式 内部循環型 水冷式 Nd:YAGレーザー
パルス幅 5〜7 nsec
レーザー出力可変 Hi / Lo ND-filter
アッテネータ1000ステップ
ケーブル 両端脱着式ロボットケーブル
(信号ケーブル 高圧ケーブル 冷却水チューブ) 3M標準
延長ケーブル(オプション)
加工スリット Carme 3Axis-θ 最大6mm角X.Y.独立可変 θ±45°
(正方形・長方形)
Carme 4Axis-2θ 最大6mm角X.Y.独立可変 2軸独立回転 θ±45°
(菱形・平行四辺形)
オペレーション
パネル
タッチパネル
操作機能
波長切替設定 / 繰返し周波数設定 / 出力可変
(Hi / Lo, ND-filter アッテネータ1000ステップ)
高輝度LEDガイド光制御 / スリット可変 / ショット数設定 /
加工マクロソフト / エラー表示
操作ボタン 非常停止 / 起動キー / 出力ジョグダイヤル /
レーザーショット / スリットジョイステック(オプション)
ケーブル 信号ケーブル 3M標準 延長ケーブル(オプション)
レーザー電源
冷却機
電源方式 IGBT電源
外部制御 LAN / RS-232C
寸法 重量 レーザー発振器 154(W) × 102.5(D) × 349(H) 6kg
加 工
スリット
Carme 3Axis-θ 154(W) × 120(D) × 79(H) 1.6kg
Carme 4Axis-2θ 154(W) × 120(D) × 115(H) 2.6kg
電源 / 冷却機 350(W) × 455(D) × 350(H) 28.5kg
オペレーションパネル 350(W) × 206(D) × 45(H) 2kg
用 力 AC 100V 単相 10A@30Hz/15A@60Hz アース付き
消耗品 フラッシュランプ DIフィルター 精製水
使用環境 20℃±5℃ 30〜60%(結露無きこと) クラス1000推奨
  • ※JIS-C6802[レーザー製品の放射安全基準]に準拠した安全対策が施されています。
  • ※仕様は改良のため、予告なく変更する場合があります。