FPD TFT修正装置 Taurusシリーズ

Taurusシリーズ
【概 要】 Taurusは、LCD製造のTFT工程で基板上に発生する各種欠陥の修正をする装置で、欠陥修正能力、信頼性、操作性等の点で、お客様から高い評価を得ており、累計600台を超す納入実績を誇ります(2013年10月時点、オムロンレーザーフロント株式会社での実績を含む)。
【特 長】
  • 各種欠陥の修正に対応
  • ガスウィンドウ方式レーザーCVDを用いた成膜機能によるオープン欠陥(配線パターンが途中で切れている個所)の修正が可能です。また、ショート欠陥(配線パターンが間違って繋がっている個所)修正に最適化された波長のレーザーを搭載しており、様々な形状のショート欠陥の修正が可能です。
  • 優れた操作性
  • 作業を担当されるお客様からの声を生かしたソフトウェア設計により、優れた操作性を実現しております。
  • 高い信頼性
  • ガラス面と密着性が高く剥れにくい成膜が可能で信頼性の高いオープン欠陥の修正を実現しております。またTFT材料に最適化されたレーザーにより美しく加工できます。
  • リアルタイムモニタリング
  • 工場の品質管理システムや歩留り管理システムですぐに使える欠陥分析データをインラインで提供できます。品質管理担当者はすぐに、工場内の品質情報を確認でき、製造プロセスの問題についてすぐに詳細を把握することが可能です。
  • 柔軟な機能拡張性
  • 本装置は、AOIやオープン/ショート検査ユニットを組み込むことが可能で、欠陥位置の高速サーチやリペア後の回路チェックを修正装置内で行うことができます。
【アプリケーション】
  • LCD関連
  • TFT基板:アレイパターンオープン欠陥のCVD修正、ショート欠陥のレーザー修正。
  • 有機EL関連
  • バックプレーン:アレイパターンオープン欠陥のCVD修正、ショート欠陥のレーザー修正。