フォトマスク修正装置

フォトマスク修正装置
【概 要】 本装置は、LCD用フォトマスク製造工程で発生する欠陥の修正をする装置です。ハーフトーンマスクの修正にも対応しており、高品質で高精度な微細修正能力、信頼性、操作性の面で、高い評価を得ており数多くのお客様に採用されております。
【特 長】
  • 各種欠陥の修正が可能
  • 各種欠陥を修正する為、ガスウィンドウ方式レーザーCVDによる白欠陥(パターンが掛けている個所)の修正が可能です。また、黒欠陥(パターンがない場所に膜や異物などがある個所)の修正に最適化されたレーザーを搭載しており、様々な形状のショート欠陥に対応します。またハーフトーンパターン*(光が金属膜を透けて通過するパターン)の形成が可能です。
  • *ハーフトーンパターン形成部のイメージ

    透過照明による観察画像

    (写真)透過照明による観察画像
    (遮光部は黒、光を透過している個所はグレー、半透過部は濃いグレーで表示)

【アプリケーション】
  • FPD用フォトマスクの欠陥修正