LCD欠陥修正装置
| 欠陥修正観察装置 Jupiter Series | ||
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| アプリケーション例 : | ||
| CF突起修正、OC異物突起修正、ITOショート切断 カラーレジスト抜け修正、BMオープン修正、TFTパターン修正 |
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| 仕様 | ||
| 型式 | Jupiter XXXX LR/TR/LTR/IR (XXXXは基盤サイズ) | |
| 最大ワークサイズ(mm) | 2160 x 2460 | |
| リペア能力 | 残り高さ0.5 |
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| 対象 | LCDのCF基板、TFTアレイ基板上に発生する欠陥 |
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| 機能 | L:YAGレーザーによる修正 T:研磨テープによる修正 R:レビュー、高さ測定 IR:インク及び導電性材料による抜け、欠け修正 |
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