EnglishLCD座標測定装置
| 非接触3次元表面形状測定装置 Polaris Series | ||
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| アプリケーション例： | ||
| PS高さ、BM段差、RGB表面形状の測定など | ||
| 特長 | ||
| 共焦点顕微鏡とDMD(Digital Micro-mirror Device)、高速度カメラを用いたマルチスポットレーザースキャンによる非接触表面形状測定 | ||
| ノイズ（振動・音）等の外乱に強い | ||
| データ自動統計処理/保存 | ||
| パターン認識機能、AF装置機能内蔵 | ||
| 中小型〜大型LCD、及びPDP、OLED基板の測定にも対応 | ||
| 測定仕様（高さ） | ||
| 測定時間 | 約1.0秒/point（視野全面） | |
| 測定再現性 | 3 =30nm以下（50倍対物 2 m段差時） |
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| 測定分解能 | 1nm |
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| 測定範囲（高さ） | 10m（カラーフィルタPS測定時） |
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| 測定視野 | 約135 X 約130 m（カラーフィルタPS測定時） |
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| 対応ワーク | ||
| 全サイズ対応 | 第10世代ガラス対応（約3000 X 3000mmサイズ） | |