光配向膜露光装置AEGIS

AEGISは、液晶ディスプレイ製造で重要なCELL工程(TFT基板とカラーフィルター基板を貼り合わせる工程)の核となる製造装置です。この装置は、配向膜というディスプレイ内部の液晶分子を一定方向に配向する機能性の高分子膜を、特殊な紫外線と小型のフォトマスクを用いて形成する装置です。
巨大なマザーガラス(最大 約3m×4m)上に薄く塗布された機能性高分子膜に、正確かつ均質にスキャン露光することが可能で、高い生産性と均一な露光品質を実現しています。また、従来の「ラビング法」と比較して、光を用いて非接触で配向膜を形成する為、異物や傷などの欠陥が原理的に発生せず、大幅な歩留りの改善が期待できます。

特徴

高い位置合わせ精度

CCDカメラで実際のパターンを見ながらリアルタイムに露光を補正し、露光位置精度±1.5μm を実現しています。

共通欠陥が発生しない

独自のスキャン露光により、微小なゴミ・異物による共通欠陥が原理的に発生しません。

フォトマスクコストの削減

フォトマスクは大型になるほど生産にコストがかかるため、割高になる傾向があります。AEGISは小型フォトマスクでの露光が可能で、マスクコストを大幅に削減することができます。

高生産性

エアフロー搬送技術を採用しており、安定した搬送速度で高精度な連続スキャン露光を実現しており、従来装置と比較して、高い生産性が期待できます。