大型ガラス基板
露光装置RZ

大型ガラス基板露光装置 RZは、FPD(フラットパネルディスプレイ)生産において重要なCF(カラーフィルター)工程の核となる、露光装置です。RZは、1994年にNSKテクノロジー*1が、BM(ブラックマトリックス)工程用としてリリースした露光装置を原型としています。以来、FPDの進化と共に発展と実績を重ね、2018年にはG10.5(約3m×4m)に対応する初号機を販売し業界標準機の地位を確立、大画面用FPDに対応するプロキシミティ方式の露光装置として世界トップクラスのシェアを誇ります。

特徴

高精度・高スループット

アライメントシステムや露光光学系の改善を重ね、良好な位置精度と高い露光均一性(有効露光範囲内で線幅ばらつきを極小化)を実現しています。

信頼性

TCCに対する独自の工夫、検査機能の付加、ソフトウェア改善を重ね不具合等による停止時間(Downtime)の低減を実現、お客様から高い評価を頂戴しています。
*1:2015年6月1日よりNSKテクノロジー社は当社子会社となり、名称をVNシステムズと改称、 その後2016年11月25日に吸収合併しております。