ロール to ロール
露光装置DZ

DZは、IC用リードフレーム、HDD用サスペンションロードビーム、OLED用蒸着マスクなどの露光に最適化された密着式の露光装置です。映像の装置は、垂直搬送による垂直露光方式を採用した装置です。他に、水平搬送による水平露光に対応するモデルや枚葉タイプのモデルがあり、多様な用途に対応可能なラインナップをご用意しております。

特徴

高精度密着

独自の真空Contact 方式による密着むらの少ない、高精度な密着露光を実現しています。

高精度

優れたWork 表裏の Alignment 精度、パターンの繋ぎ精度を実現しています。