外観検査装置Capricorn

Capricornは、FPD製造工程を対象とした自動外観検査装置です。特殊なラインCCDカメラが撮影した画像情報を、高性能な画像処理装置により分析し、欠陥情報(位置、有無、形状、OK/NG等)を瞬時に出力します。
欠陥情報は、工程内の問題の分析やの歩留り管理に活用されます。例えば、欠陥情報は、検査装置の下流にある欠陥修正装置へ展開され、に活用されます。また、欠陥の発生位置や内容から上流工程のどの装置どのようは不具合が発生しているかを即時に把握することができます。

この装置は、2002年の登場から今日まで、FPD(フラットパネルディスプレイ)の様々な製造プロセスで広く採用され、最大で約3×3.4mのガラス基板にも対応しています。特に、LCD(液晶ディスプレイ)製造工程におけるCF(カラーフィルター)工程やCELL工程(TFT基板とカラーフィルター基板を貼り合わせる工程)や、半完成品であるモジュール工程で数多くお使いいただいています。

アプリケーション

FPDの主要な製造工程

LCD:TFT工程、CF工程、CELL工程、モジュール工程など

OLED:TFT工程、モジュール工程など