カラーフィルター
欠陥修正装置Jupiter

Jupiterは、FPD製造工程内で発生する欠陥を修正する装置で、例えば、成膜時に発生する突起状の欠陥や、膜内に取り込まれた異物、画素や配線パターンの欠けなど様々な欠陥の修正に対応しています。
 
独自開発の多機能修正ヘッドと高速ステージにより、高精度かつ高速に欠陥を修正します。また、欠陥形状に応じた適切な倍率が可能な高性能顕微鏡を搭載しており、鮮明な画像で欠陥を観察・分析することができます。

Jupiterは1999年の登場から今日まで、FPD製造に関わるすべてのお客様にお使いいただいており、、修正品質の高さ、信頼性、運用のしやすさなどから、特にカラーフィルター(CF)工程向けで圧倒的な納入実績を誇り、現在も高い評価を得ています。

アプリケーション

FPDの主要な製造工程

LCD:CF工程、CELL工程、TFT工程など