精密座標測定装置Mercury

FPDは、巨大なガラス基板上に微細な配線や電極などの微小パターンが何層も精密に積み重ねられて作られます。また、LCD(液晶ディスプレイ)やOLED(有機ELディスプレイ)は、TFT(Thin Film Transistor)基板上に、カラーフィルター(CF)基板や蒸着マスクなどが重ね合わされ、様々な工程を経て完成します。
Mercuryは、このように重ね合わせ精度が要求されるFPD製造工程において、最大で3m×3.4mに及ぶ様々な基板をサブミクロンの精度で測定する、座標測定装置です。また、スマートフォンなどに用いられる高精細なOLEDの製造時必要とされる、数μm程度の微小な画素パターンの寸法測定にも対応しています。
2000年の販売開始から今日まで、業界標準機として他社の追従を許さない圧倒的な納入実績を誇り、現在も高い評価を得ています。

アプリケーション

FPDの主要な製造工程での寸法管理、およびフォトマスクや蒸着マスクなどの寸法管理。