微小寸法測定装置Venus

FPD(フラットパネルディスプレイ)の高精細化により、TFT(Thin Film Transistor)は、複雑化し、歩留り管理ツールとしての、微小寸法測定機の重要性が高まっています。
Venusは、最大で3m×3.4mに及ぶ様々な基板をサブミクロンの精度で測定する、微小寸法測定機で、OLEDやLCD(液晶ディスプレイ)問わず、微小寸法測定専用機として、各製造プロセスの様々な測定要求に対応しています。

アプリケーション

 FPDの主要な製造工程や、フォトマスク、メタルマスクなどの寸法管理など。