TFT欠陥修正装置Taurus

TFT(Thin Film Transistor)工程は、FPD製造工程の中で最も重要かつ複雑な工程です。LCD(液晶ディスプレイ)やOLED(有機ELディスプレイ)の性能や品質は、TFTに採用される技術や品質により、大きく左右されます。

Taurusは、ディスプレイの進化と共に高精細化し高難度化するTFT製造の歩留り管理*を支える、欠陥修正装置です。

ガスウィンドウ方式のレーザーCVDにより局所的に金属膜の成膜が可能で、金属配線のオープン欠陥の修正が可能です。また、導電性材料の塗布による欠陥の修正の他に、高機能レーザーにより高精度・低ダメージ修正も可能です。さらに、高速ステージを採用しており、3m×3.4mサイズの世界最大級のガラス基板に対しても、基板処理時間の短縮を実現しています。

アプリケーション

FPDの主要な製造工程

 LCD、OLEDのTFT工程など

*高精細化と歩留り 

 

高精細化により画素密度が上がり、パターンは微細化します。無視できたサイズの異物等が画素密度の上昇により欠陥となり、不良を引き起こします。このような歩留りの低下を最小化する為に、より高性能な修正装置が求められます。