ラインスキャン型 顕微分光膜厚測定ヘッド

弊社独自開発による測定ヘッドを採用。白色反射分光膜厚解析処理により
フォトレジストやOLED材料などを高精度に計測できるラインスキャン型膜厚計測ヘッドです。

特徴

顕微分光

 微細領域の形状・膜厚変化を高精度に計測

ラインスキャン

ラインスキャン方式の採用により 測定長が可変で、広範囲に渡る分布評価が可能

拡張性

複数ヘッドを並べ幅方向に拡張することで大型基板全面に渡る計測にも対応

材料特性

屈折率、消衰係数計測機能を搭載。材料特性の変化をモニタ・追従することが可能

インライン計測

構成によりインライン対応も可能

その他

多層膜解析 膜厚分布マップ 面内分布統計処理に対応

測定例

FHM(Fine Hybrid Mask)と縦型蒸着装置を用いて成膜した有機材料の評価例

仕様(標準)

測定方式

ラインスキャン(プッシュブルーム)型白色反射分光膜厚計

測定分解能(SiO2リファレンスでの仕様)

10Å

測定再現性(SiO2リファレンスでの仕様)

±2Å

測定幅

704μm(10x) 140μm(50x)

測定長さ(最大)

2000μm~連続(装置構成による)