精密座標測定装置Mercury
SHR

Mercury SHRは、世界最高クラスの測定精度を実現する、フォトマスク用座標位置測定機です。

この装置には、巨大なフォトマスクをナノメーター分解能で測定する様々な技術が盛り込まれています。高位置決め精度・高平坦度を誇るエアスライダと測定テーブル、ナノメーターでテーブル位置を制御するレーザー干渉計とリニアエンコーダー、環境変化を最小化するサーマルチャンバーなど、最先端のオプトメカトロニクス駆使し、世界最高水準の測定精度を実現しています。

また、独自の測定ソフトと基準マスクで精度校正、誤差要因を完全に補正し理想的な格子座標系を構築、優れた測定精度と再現性を保証しています。