欠陥修正装置Sculptor

Sculptorは、FPD用フォトマスクの欠陥修正に特化された、欠陥修正装置です。

ガスウィンドウ方式レーザーCVDによりオープン欠陥(パターンの欠けや抜け)の修正が可能です。また、ショート欠陥(パターンの異常接続)の修正に最適化されたレーザーを搭載しており、高品質な欠陥の修正が可能です。またハーフトーンパターン*(光が金属膜を透けて通過するパターン)が形成されたフォトマスクの欠陥修正にも対応しています。

*(写真)ハーフトーンパターンの透過照明による観察画像

(遮光部は黒、光を透過している個所はグレー、半透過部は濃いグレーで表示)