外観検査装置Gemini

中小型OLEDの生産増やG10.5(約3m×3.4m)マザーガラスを用いたFPD生産増により、ディスプレイ用フォトマスクの高精細化や大型化が進展しています。 

フォトマスク検査装置Geminiは、簡素化された高精度X軸エアーガイド、高い剛性の石定盤と立体的、コンパクトに組み合わされたアクティブ除振台、高精度・高剛性マスクホールドと独自のローテーション機構、セラミック製垂直エアーガイド等ブイテクノロジー独自の技術と、内製CADデータベース変換回路による比較検査の他、「ムラマッピング」や「微小コンタクトホール高感度検査機能」など様々な検査ロジックを具えた独自の画像処理エンジンで、8Kディスプレイや中小型有機ELディスプレイ用フォトマスクの要求に応える高速かつ高精度な外観検査を提供します。

また、半ビルドイン除振台、ペリクルハンドリングシステムを含んでフラットサーフェイス化することでAGVのダイレクトアクセスを実現するなど、工場レイアウトに柔軟に対応可能な設計が施されています。