LED露光装置 AEGIS-LEDシリーズ

AEGIS-LEDシリーズ
【概 要】

近年環境への配慮からLED(Light-emitting diodes 発光ダイオード)を利用した照明デバイスの普及が、急速に進んでいます。AEGIS-LEDは、LED開発・製造用途向けにMLA方式*1を採用した一括投影露光装置です。

*1:MLA=Micro Lens Arrayの略。当社はフラットパネルディスプレイ(FPD)用に提供する高精細露光装置AEGIS-HRの開発を通じてMLA光学技術を確立しました。

【特 長】
  • ウェハー全面に均質な露光を実現
  • MLA技術の採用により、ウェハー全面でレンズ歪みの無い転写パターンを投影するため、露光起因によるLEDの品質ばらつきが回避されます。また、幅広い焦点深度を有し、ウェハー歪みによる焦点ボケに対応しています。
  • 低ランニングコスト
  • マスクとウェハーが非接触で露光するため、マスク・ダメージが回避され、ランニングコストの低減に寄与します。
  • 高いスループット
  • デュアルハンド・2ステージ機構により、高いスループットを実現します。
【用 途】
  • LEDチップパターン形成工程の以下のプロセスへの適用に最適です。
  • ・PSSパターンの形成
  • ・透明電極の形成
  • ・パッド電極の形成