半導体、フラットパネルディスプレイ（FPD）、農業等の成長分野で、世界最高のイノベーションを創造し、豊かな社会の実現に貢献します。

　世界初の最小画素１μmを実現したマスクレス露光装置、高いシェアを誇るシリコンウェーハ用検査装置、フォトマスクの修正装置など半導体製造に欠かせない装置をお届けしています。また、時代の流れに伴い変化するお客様の様々なニーズにお応えする製品の開発に、日夜取り組んでいます。

 

半導体事業について　詳細はこちら
フォトマスク事業について　詳細はこちら

　多数の納入実績と、高い市場シェアを誇る、様々な製造ソリューションを提供しております。

　特に、製造装置の分野では、FPDの主要な製造工程に不可欠な露光装置や検査装置を、世界中のお客様にお届けしてまいりました。

　また、金属と樹脂材料を組合せた独自のOLED用蒸着マスクや、ムラ欠陥により出荷できないOLEDを良品化するサービス等、FPDの多岐に渡る製造ニーズに応える製品・サービスを展開しております。

 

フラットパネルディスプレイ事業について　詳細はこちら

　ソフトウェア開発等の事業に取り組んでいます。詳細はこちら