FPD製造装置・検査装置

当社グループは、FPD(フラットパネルディスプレイ)の進化に貢献する最先端の製造装置・検査装置を国内外のお客様へお届けしております。また、FPD用フォトマスクの製造に不可欠な製造装置・検査装置についてもお取り扱いをしております。

製造装置

最先端のFPD製造ラインに、独自技術の結集した世界トップクラスの製造ソリューションを提供しています。トップシェアを誇るカラーフィルター用露光装置、FPDの省電力化等に貢献する光配向露光装置など、様々な製造ソリューションをお客様へお届けしています。

検査装置

FPD検査装置は、工場新設から量産開始までの工期短縮や、量産開始後の生産歩留りの安定に不可欠な装置です。当社の検査装置は、FPD製造の主要工程に必須のツールとして、検査、修正、測定の3つの分野で活躍しています。

フォトマスク用装置

FPD用のフォトマスクには、数百nm(ナノメートル)の微小なパターンが、nmの位置精度で最大1.8×2mのエリア全面に作りこまれています。その為、フォトマスクの製造にはFPD製造と桁違いの測定精度や欠陥検査感度が求められます。当社は、FPD製造装置、検査装置で培った技術に独自のアイデアを組合せ、お客様のご期待を超える検査装置をお届けしています。

サービス

当社は、製品の保守・点検や保守部品の提供のほか、最先端のFPD製造に対応する装置のアップグレードサービスをご提供しております。