フォトリソグラフィの分野で長きにわたり業界の皆様に、材料開発のツールを数多くお届けしてきたリソテックジャパンがミニマルファブを中心とした展示を行いますので、ぜひ、ご来場ください。
リソテックジャパン(東ホール4 4046:ミニマルファブパビリオン内)
同社は、一般社団法人ミニマルファブ推進機構に参画しており、ミニマル※1の塗布・現像装置の開発を行っています。ミニマルファブは、世界中で使っていただける柔軟な汎用性と超低コスト、高信頼性を併せ持ったイノベーショナルなシステムです。
研究開発、試作、少量多品種生産向けに用途や生産量に合わせた製造設備が構築でき、投資額が必要最小限に抑えられます。このミニマル装置の実機を展示いたします。
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