リソテックジャパン(東ホール5 コマ番号E5228)
リソテックジャパンは、リソグラフィ工程のプロセス装置やフォトレジスト開発に有用なツール、ソフトウェア等を提供しております。展示ブースではウェーハレジストフローに関わる装置や技術をご案内します。出展社ページはこちら
ジャパンクリエイト(東ホール4 コマ番号E4608)
ジャパンクリエイトは、主力製品であるウェーハ洗浄装置を中心に、スピンコーター、プラズマCVD、ドライエッチング、スパッタリング、アッシングなど、当社ならではのウェット/ドライの両プロセス装置をご紹介します。出展社ページはこちら

