外観検査装置Capricorn

 Capricornは、FPD製造工程で発生する欠陥等を検出する、外観検査装置であり、工場の歩留まりをコントロールする非常に重要な装置の一つです。

 

 

 本装置に搭載されたラインカメラにより基板表面を撮像・画像処理し、欠陥情報(位置、有無、形状、OK/NG等)を瞬時に出力します。欠陥情報は、工程内の問題の分析やの歩留り管理に活用されます。例えば、欠陥情報は、検査装置の下流にある欠陥修正装置へ展開され、欠陥修正等に活用されます。

 

 また、欠陥の発生位置や内容から上流のどの工程で不具合が発生しているかを把握することができます。