カラーフィルター
欠陥修正装置Jupiter
Jupiterは、製造工程で発生する欠陥を、外観検査装置等の欠陥情報を用いて修正する装置です。
独自開発の多機能修正ヘッドと高速ステージにより、欠陥を高精度かつ高速に修正します。また、欠陥に応じた適切な倍率が可能な高性能顕微鏡を搭載しており、鮮明な画像で欠陥を観察・分析することができます。
Jupiterは1999年の登場から今日まで、FPD製造に関わるすべてのお客様にお使いいただいており、、修正品質の高さ、信頼性、運用のしやすさなどから、特にカラーフィルター(CF)工程向けで圧倒的な納入実績を誇り、現在も高い評価を得ています。