微小寸法測定装置Venus

Venusは、FPD等の各種基板上の薄膜パターンをサブミクロンの精度で測定する、微小寸法測定機で、OLEDやLCD(液晶ディスプレイ)問わず、微小寸法測定専用機として、各製造プロセスの様々な測定要求に対応しています。

 FPDの主要な製造工程や、フォトマスク、メタルマスクなどの寸法管理など。