Taurusは、ディスプレイの進化と共に高精細化し高難度化するTFT製造の歩留り管理*を支える、欠陥修正装置です。

 

　ガスウィンドウ方式のレーザーCVDにより局所的に金属膜の成膜が可能で、金属配線のオープン欠陥の修正が可能です。また、導電性材料の塗布による欠陥の修正の他に、高機能レーザーにより高精度・低ダメージ修正が可能です。

*高精細化と歩留り　

 

高精細化により画素密度が上がり、パターンは微細化します。無視できたサイズの異物等が画素密度の上昇により欠陥となり、不良を引き起こします。このような歩留りの低下を最小化する為に、より高性能な修正装置が求められます。