光配向膜露光装置AEGIS
AEGISは、液晶ディスプレイ製造のCELL工程（TFT基板とカラーフィルター基板を貼り合わせる工程）の核となる製造装置です。この装置は、特殊な紫外線と小型のフォトマスクを用いて、ディスプレイ内部の液晶分子を一定方向に配向する膜(配向膜)を形成する装置です。
薄く塗布された配向膜に、正確な角度で均一にスキャン露光することが可能で、高い生産性を実現しています。
また、従来の「ラビング法」と比較して、光を用いて非接触で配向膜を形成する為、異物や傷などの欠陥が原理的に発生せず、歩留りの大幅な改善が期待できます。
CCDカメラで実際のパターンを見ながらリアルタイムに露光を補正し、露光位置精度±1.5μm を実現しています。
独自のスキャン露光により、微小なゴミ・異物による共通欠陥が原理的に発生しません。
フォトマスクは大型になるほど生産にコストがかかるため、割高になる傾向があります。AEGISは小型フォトマスクでの露光が可能で、マスクコストを大幅に削減することができます。
エアフロー搬送技術を採用しており、安定した搬送速度で高精度な連続スキャン露光を実現しており、従来装置と比較して、高い生産性が期待できます。
