ロール to ロール
露光装置DZ
DZは、IC用リードフレーム、HDD用サスペンションロードビーム、OLED用蒸着マスクなどの露光に最適化された密着式の露光装置です。
垂直搬送による垂直露光方式を採用した装置の他に、水平搬送による水平露光に対応するモデルや枚葉タイプ等、お客様の多様な製造工程に対応しています。
独自の真空Contact 方式による密着むらの少ない、高精度な密着露光を実現しています。
優れたWork 表裏の Alignment 精度、パターンの繋ぎ精度を実現しています。