LAMBDI Neo01は独自の高解像性オプティカル技術により、従来技術のダイレクト露光装置では到達できなかった高生産性を併せ持ったL/S=1.2/1.2umのパターン形成を実現いたしました。独自のアルゴリズムにより面内の線幅ばらつきを安定化させ、ステッパーの抱えるマスク交換を不要とするダイレクト露光装置の強みを1um市場へ展開いたします。