IMAGINA01P(LE-TECHNOLOGY製)は、独自の最先端光学技術、高効率駆動のプラットフォームと補正アルゴリズム技術の組み合わせにより、L/S=4/4umの高解像パターンニング、生産性の大幅向上、高精度アライメント、省スペース化を実現した次世代のダイレクトイメージング露光装置です。