光ファイバーとブルーレーザーダイオードによるシリコン薄膜トランジスタの単結晶化技術について講演

当社は、MiniLED、OLED、μLED等の次世代ディスプレイ等、シリコンを用いたデバイス製造に貢献する、レーザーアニール技術の研究開発に日夜取り組んでいます。

 

この度、各種デバイスに最適な結晶状態を持つシリコン膜の製造を可能とする、青色半導体レーザーを用いたレーザーアニール技術についての発表を、IDW20*1Virtual Conferenceにて行うこととなりましたので、ご案内いたします。本講演では、コストパフォーマンスに優れたユニークなレーザーアニール光学系による、多結晶構造から単結晶構造までのシリコン結晶性制御の一例として、電子移動度に優れたシリコン単結晶化技術をご紹介いたします。12月9日のバーチャルカンファレンスへご参加頂けますよう、宜しくお願いいたします。

 

*1:IDW20の詳細ついては、IDW20事務局までお問合せをお願いいたします。

IDW20について:映像情報メディア学会 (ITE)と Society for Information Display (情報ディスプレイ学会、SID)が、ディスプレイ技術分野の国際ワークショップとして12月9日から11日までの3日間の会期で開催する国際会議です。

レーザーアニール装置

レーザーヘッド