この度、次世代ディスプレイのみならず既存のLCDやOLEDディスプレイの製造コスト削減や、電気的な特性の改善を実現する技術の発表をIDW22にて、日本時間の2022年12月15日PM2時50分より行いましたので、ご案内いたします。
この技術は、青色半導体レーザーを用いたレーザーアニール技術であり、最適な結晶状態を持つシリコン膜の製造を可能としてるのみならず、ランニングコストの大幅な削減を実現しております。
講演について
- タイトル: Silicon Thin Film Crystallization Annealing System Using Blue Laser Diode(青色半導体レーザーを用いたシリコン薄膜結晶化アニール装置)
- 概要：青色レーザーダイオード（BLDA）を用いた新しいシリコン結晶化アニール装置を開発、ファイバーアレイを千鳥配置することにより、異なる画素ピッチのアニールを実現しました。BLDAにより従来レーザーアニールよりTFTデバイス低off電流と300cm2/VSを超える高移動度を確認しました。
IDWについて
映像情報メディア学会 (ITE)と Society for Information Display (情報ディスプレイ学会、SID)が、ディスプレイ技術分野の国際ワークショップとして開催する国際会議です。
