ダイレクトイメージング
露光装置 IMAGINA01SR

   IMAGINA01SR(LE-TECHNOLOGY製)は、パターン用モデルの高解像性パターニング形成技術と高効率駆動のプラットフォーム技術を受け継いだ、次世代ソルダーレジスト及び汎用ドライフィルムへの幅広い露光波長に適応する、次世代のダイレクトイメージング露光装置です。