LAMBDI0602は独自の最先端光学技術により、L/S=4/4umの高解像パターンニング形成を実現し、高効率駆動のプラットフォームと補正アルゴリズム技術の組み合わせにより、生産性の大幅向上、高精度アライメント、省スペース化、を実現した次世代のダイレクトイメージング露光装置です。LE-TECHNOLOGYはお客様の求める、高解像性、生産性、補正強化、省スペース化、装置の柔軟性を追求しております。