LITHOTRAC Dual-1000(リソテックジャパン製)は、レジストスピン塗布ユニットとレジスト現像ユニットを混載したモデルです。

 

ベークプレート、クーリングプレート、HMDS処理ユニット、クリーン基板搬送ロボット等を自由に組合せできます。2インチ以下の小片基板から300mmウェーハまで、ご要望に合わせた仕様でご提供しています。

適応塗布材料/現像方式

• g線/i線レジスト、ポリイミド、層間絶縁膜、ワックス等の塗布材料
• EBレジスト、EUVレジスト、ArF/KrFレジスト等の化学増幅型塗布材料
• アルカリ現像液、有機現像液によるパドル現像、スプレー現像"