レジスト現像速度測定装置RDA-800Twin

RDA-800twin(リソテックジャパン製)は、フォトレジストの現像速度評価が可能です。γ値、コントラストカーブ、表面難溶化パラメータ、現像パラメータの算出が可能です。
ウェハとレンズの現像液同期挿入機構により、ArFレジストの様な高Rmaxレジストにも対応しています。また、現像槽を2基搭載しており、アルカリと有機溶剤にそれぞれ対応できます。
モニター数 | 18 チャンネル |
モニター波長 | 470 nm および 950 nm(デュアル対応) |
適用レジスト膜厚 | 80 nm ~ 10 μm |
その他 | 像液温調機能、レンズ・ウェハ同期型自動インサート、 現像液自動供給・排水機能搭載 |
オプション | モニター波長 265 nm(適用レジスト膜厚 40 nm ~ 200 nm) |