RDA-800twin(リソテックジャパン製)は、フォトレジストの現像速度評価が可能です。γ値、コントラストカーブ、表面難溶化パラメータ、現像パラメータの算出が可能です。

 

ウェハとレンズの現像液同期挿入機構により、ArFレジストの様な高Rmaxレジストにも対応しています。また、現像槽を2基搭載しており、アルカリと有機溶剤にそれぞれ対応できます。

 

 

モニター数	18 チャンネル
モニター波長	470 nm および 950 nm（デュアル対応）
適用レジスト膜厚	80 nm ～ 10 μm
その他	像液温調機能、レンズ・ウェハ同期型自動インサート、 現像液自動供給・排水機能搭載
オプション	モニター波長 265 nm（適用レジスト膜厚 40 nm ～ 200 nm）