DL-1000(ナノシステムソリューションズ製)は、空間光変調器の一つであるデジタルマイクロミラーデバイス（Digital Micromirror Device : DMD）を露光パターンジェネレーターとして採用し、フォトマスクの代用としてDMD上に映し出されたパターンデータをフォトレジスト上に縮小投影するデジタル露光装置です。パソコン上で作成した露光データを直接露光することができますので、自在に露光パターンを作成することができます。

 

＜アプリケーション＞

• 各種半導体デバイスの開発、少量多品種のデバイス製造ライン
• バイオ関係（マイクロ流路等）
• 発光素子開発
• 高周波回路の開発
• 各種センサーの製造
• インプリント用金型製造