MS-1000(ナノシステムソリューションズ製)は、独自の光学技術と画像処理技術により、シリコンウェーハやガラス基板などの外部欠陥や内部欠陥の高速かつ高精度な検査を実現しています。

 

＜外部欠陥検査＞
基板検査に必要なキズ、欠け、クラック、パーティクルなどの欠陥検出や、平坦度の測定など発生した実欠陥に合わせた検出手法をご提案可能です。

 

＜内部欠陥検査＞
基板内部に発生する欠陥を、透過や反射により検出します。発生した実欠陥に合わせた検出手法をご提案しています。