欠陥修正装置(FIB)Draco

<特長>
 Draco シリーズは、半導体~ディスプレイ用フォトマスクまで対応する集束イオンビームリペア装置です。

 

 局所真空技術を採用し40%の省スペース化を実現しております。さらに、フォトマスクを大気圧中で取り扱えるため、基板のローディング・アンローディング時間を大幅に短縮しています。 

 

<主な仕様>

  • 修正方式:収束イオンビーム(FIB)
  • ワークサイズ:9インチ各~1.8×2.0mまで
  • 最小修正線幅:300nm
  • 修正精度:±25nm