＜特長＞
　Draco シリーズは、主にディスプレイ用フォトマスクまで対応する集束イオンビームリペア装置です。

 

　局所真空技術を採用し40％の省スペース化を実現しております。さらに、フォトマスクを大気圧中で取り扱えるため、基板のローディング・アンローディング時間を大幅に短縮しています。 

 

＜主な仕様＞

• 修正方式：収束イオンビーム(FIB)
• ワークサイズ：９インチ各～1.8×2.0mまで
• 最小修正線幅：300nm
• 修正精度：±25nm