Mercury SHRは、世界最高クラスの測定精度を実現する、フォトマスク用座標位置測定機です。この装置には、巨大なフォトマスクをナノメーター分解能で測定する様々な、最先端のオプトメカトロニクス技術が盛り込まれています。

 

＜特徴＞

• 高位置決め精度・高平坦度測定テーブル
• ナノメーター制御のレーザー干渉計とリニアエンコーダー
• 環境変化を最小化するサーマルチャンバー
• 独自の測定ソフトと基準マスクによる精度校正
• 誤差要因を完全に補正する理想的な格子座標系